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潔凈系列 調(diào)速閥
簡要描述：10-AS-FG 系列 潔凈系列 推壓鎖定式 帶快換接頭 速度控制閥 不銹鋼規(guī)格(彎頭型/萬向型) 主體尺寸1
產(chǎn)品型號： 10-AS1211FG-M5-06A
所屬分類：SMC調(diào)速閥
更新時間：2026-03-02
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
一、產(chǎn)品定義與工作原理
定義：潔凈調(diào)速閥是專為 Class 1~1000 級潔凈室（半導體、生物醫(yī)藥、食品等）設計的、兼具精密流量 / 速度控制與超低發(fā)塵、無污染物釋放的氣動元件；通常為壓力補償型，可在負載 / 氣壓波動下維持穩(wěn)定流量，同時滿足 ISO 14644 潔凈度與相關(guān)行業(yè)防污染標準。
核心原理
基礎：由節(jié)流針閥 + 壓力補償機構(gòu)組成，補償器自動維持節(jié)流口兩端壓差恒定，使流量僅取決于針閥開度，與進出口壓力波動無關(guān)；
潔凈強化：無多余潤滑脂、采用低發(fā)塵材質(zhì)與密封，結(jié)構(gòu)、可沖洗，避免粉塵脫落或化學析出；部分帶單向閥，實現(xiàn) “調(diào)速 + 快速回位" 雙功能。
二、核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)
閥體：316L 不銹鋼、特殊潔凈級工程塑料（PBT、PPS），嚴禁銅離子 / 硅 / 鹵素析出（半導體用 P74 級）；
密封件：全氟醚（FFKM）、EPDM，無硅油、低溶出；
調(diào)節(jié)機構(gòu)：防脫落旋鈕 + 鎖緊，多圈精細調(diào)節(jié)，避免誤觸；
表面處理：電解拋光、無電解鍍鎳，無顆粒附著點；
包裝與清洗：潔凈室專用包裝，出廠經(jīng) ISO 14644-1 認證清洗，部分提供粒子與分子污染物檢測報告。
三、關(guān)鍵性能與優(yōu)勢
超低發(fā)塵：發(fā)塵量≤10 particles/ft3（0.3μm 以上），符合 SEMI F57、ISO 14644-1；
流量穩(wěn)定：壓力補償，0.1~0.7MPa 范圍內(nèi)流量波動 < 3%；
耐腐蝕 / 兼容：耐化學品、去離子水，無金屬離子析出；
安裝靈活：直型 / 彎型，快插 / 螺紋接口（Rc、NPT、Φ4/6/8 氣管），多方位安裝；
高壽命：密封與閥芯耐磨，插拔 / 調(diào)節(jié)次數(shù)達百萬次。
四、典型應用領域
半導體 / 微電子：晶圓搬運機械臂、真空室氣動閥門、光刻設備氣路調(diào)速；
生物醫(yī)藥：無菌制藥生產(chǎn)線、生物反應器、凍干機氣動執(zhí)行器；
食品飲料：潔凈灌裝線、無菌包裝設備；
光學 / 精密儀器：鏡頭組裝、激光設備氣動微調(diào)。
五、選型與使用要點
潔凈等級：按潔凈室等級選 P70（普通潔凈）/P74（半導體嚴苛級）；
接口與流量：確認氣管外徑 / 螺紋、流量（ANR L/min）；
節(jié)流方向：進氣節(jié)流（防沖出）/ 排氣節(jié)流（穩(wěn)速）/ 雙向；
環(huán)境條件：溫度（通常 0~60℃）、介質(zhì)（壓縮空氣需 Class 1 潔凈干燥）；
維護：嚴禁使用含硅潤滑脂，定期用異丙醇擦拭，避免粉塵堆積。
六、與普通調(diào)速閥的核心區(qū)別
普通調(diào)速閥以成本和通用為導向，潤滑脂含硅、材質(zhì)易析出、發(fā)塵量大；潔凈調(diào)速閥在材質(zhì)、清洗、密封、檢測、包裝全流程遵循潔凈標準，是高潔凈度生產(chǎn)線的必需元件。
10-AS1201FG-M5-01A
10-AS1201FG-M5-02A
10-AS1201FG-M5-03A
10-AS1201FG-M5-04A
10-AS1201FG-M5-06A
10-AS1201FG-M5-07A
10-AS1201FG-M5-23A
10-AS1201FG-U10/32-01A
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